يحدد هذا الجزء من المواصفة القياسية IEC 62047 طريقة لاختبار إجهاد الإنحناء باستخدام اهتزاز الرنين لتركيبات الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة MEMS (الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة) والآلات الدقيقة. وتنطبق هذه المواصفة القياسية على تركيبات الاهتزاز التي يتراوح حجمها من 10 ميكرومتر إلى 1000 ميكرومتر في اتجاه الطائرة ومن 1 ميكرومتر إلى 100 ميكرومتر سمك، ومواد الاختبار الأقل من 1 ملم طول وأقل من 1 ملم عرض، وبين 0.1 ميكرومتر و 10 ميكرومتر سمك. وللمواد الهيكلية الرئيسية في الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة والآلات الدقيقة وما إلى ذلك سمات خاصة مثل أبعاد نمطية من بضعة ميكرونات وتصنيع المواد عن طريق الترسيب وتصنيع قطعة الاختبار عن طريق الآلات غير الميكانيكية بما في ذلك طباعة الصفائح الضوئية. وغالبًا ما يكون لتركيبات الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة تردد الرنين أساسي أعلى وقوة أعلى من التركيبات الدقيقة. ولتقييم وضمان عمر تركيبات الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة، تستخدم طريقة اختبار الإجهاد مع دورات عالية للغاية (تصل إلى 1012) حمل. والهدف من طريقة الاختبار تقييم خواص الجهد الميكانيكي للمواد جزئية النطاق في وقت قصير من خلال تطبيق إجهاد الانحناء ذو التردد الدوري العالي والحمل العالي باستخدام اهتزاز الرنين.